上海啟元?dú)怏w發(fā)展有限公司（以下簡稱為“啟元”）成立于2009年，依托卓越的空分設(shè)備研發(fā)與生產(chǎn)制造能力，服務(wù)于中國先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)，致力于通過技術(shù)創(chuàng)新滿足國內(nèi)外客戶不斷提升的電子材料及設(shè)備方面的需求，實(shí)現(xiàn)客戶價(jià)值的最大化，并推進(jìn)中國先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)新材料國產(chǎn)化的不斷發(fā)展。
截止2020年，啟元已設(shè)計(jì)生產(chǎn)并已投入運(yùn)行的空分設(shè)備200多套，啟元已實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體芯片及硅片工廠的現(xiàn)場供氣，并已建設(shè)國內(nèi)最先進(jìn)技術(shù)的電子氣體精煉中心。
同時(shí)，啟元已與韓國半導(dǎo)體電子材料企業(yè)達(dá)成了戰(zhàn)略合作，將在承接既有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，著重共同研發(fā)芯片先進(jìn)制程中所需的新材料和新設(shè)備。
未來，啟元將繼續(xù)保持卓越的技術(shù)優(yōu)勢和生產(chǎn)工藝，為半導(dǎo)體、平板顯示、航空航天、醫(yī)療等不同行業(yè)提供國產(chǎn)化材料和設(shè)備的綜合解決方案。

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